製品一覧

ESKKproシリーズ

(±100V未満のESD対策向け)

ESKKproPLシリーズ

ESKKstdシリーズ

(±100V以上のESD対策向け)

ESD free Loupe

一般的なEPA(ESD保護区域)よりも厳しいHBM100V未満のESD(静電気放電)対策が必要となる環境において、ESDS(静電気敏感性デバイス)の検査・作業に安心してお使いいただけます。

1μm以下のサイズの塵埃管理・対策が必要な場合におすすめいたします。フリーアームタイプは必要に応じて、オプションのESD対策フリーアーム用スリーブと組み合わせてお使いください。

ESKKproシリーズの高いESD/ESA-SAFE機能に加え、フォトリソ工程でのご使用に最適な照明を採用しました。

ESKKproPLシリーズ拡大鏡を使用して、g/ig/i線用の代表的なレジスト剤で露光実験を行って得られた”レジストに影響しない積算光量”から、ワークへの照度が5000lxでの使用において、約15時間連続照射しても、ワークのレジスト剤は露光しないことが算出されております。

管理値HBM100Vの一般的なEPA（ESD保護区域）において、ESDS（静電気敏感性デバイス）の検査・作業に安心してお使いいただけます。

1μmまでのサイズの塵埃管理・対策が必要な場合におすすめいたします。

彩光部に静電気拡散性の樹脂を採用した直置きして焦点が合うタイプのルーペです。

ESDS(静電気敏感性デバイス)に直接触れてもESD(静電気放電)が起きません。